11月底，中微半导体和美国MOCVD设备厂Veeco的专利纠纷逐渐发酵；12月初，海信夏普争端再起，夏普被指LED液晶电视专利侵权……这些专利纠纷似乎都有一个相同点。由于受技术壁垒、竞争加剧等多因素的影响，很多企业或主动或被动打起了专利战。

国内外MOCVD厂商对决，由来已久

国内外MOCVD厂商的对决多年来一直没有停息过。MOCVD设备一直都是生产LED外延芯片的关键设备。由于技术含量高，MOCVD设备站在了LED行业价值链的顶端，MOCVD设备是专利技术密集型产业，而其核心技术大多掌握在美国Veeco和德国Aixtron等国外企业手中，并且多年以来这两家企业占领了全球90%以上的MOCVD设备市场，其技术水平、规模效应、品牌效应、客户资源等都达到了相当的高度。

Veeco和Aixtron在知识产权及其全球专利组合方面的保护一直十分坚决，这让后续进入这一领域的国产MOCVD厂商寸步难行，要突破专利技术封锁，建立自主创新的国产MOCVD核心技术并非易事。据了解，2016年国产MOCVD设备在国内市占率合计仅11%。

他们利用专利优势来绞杀国产MOCVD设备商的发展，从而导致了十几年来国内20多家陆续从事MOCVD的企业目前只剩下中微和中晟两家。

虽然一直面对Veeco和Aixtron的共同绞杀，但中微和中晟两家依然坚挺不屈。特别是近年来国产化的大力推进，国产MOCVD设备开始赢得了国内LED芯片厂商的认可，尤其是中微半导体，其MOCVD出货量已突破100台，华灿光电和三安光电是其最大客户。目前，华灿光电对其采购量达到40台，已获交付34台。

国际设备厂商在中国市场的份额逐渐被国产设备挤压，并且在技术上也逐渐被国内设备厂商赶上。此前三安光电向Aixtron采购50台腔LED主要生产设备CCS MOCVD SYSTEM AIX R6，最后由于不能完全满足三安工艺需求而终止采购。如今Aixtron已经基本失去了竞争优势，甚至在2016年，中国资本一度对Aixtron发起过收购，Aixtron的产品基本上已经出局，形成了国产设备只与Veeco产品竞争的有利格局。

如今中微和中晟两家企业在专利技术上每年都不断投入，比如中微。中微有一半以上的员工从事研发工作，而通过十年的发展和积累，中微已经申请了几百余项国内外专利，涉及MOCVD的专利已超过百项，其中大部分专利已被授权。

专利技术上的突破使得国内MOCVD供应商不断缩小与Veeco产品的技术差距，并依靠更好的性价比和更便利的售后服务逐渐得到客户的认可，已经威胁到Veeco在中国市场的领先地位，导致其连续多年亏损和市场占有率的减少。面对国内厂商的强势崛起，Veeco以专利武器打击中微MOCVD供应商的出货与使用。

中微半导体 、Veeco互告

早在2017年4月12日，Veeco在纽约东区的联邦法院对SGL Carbon，LLC和SGL Carbon SE展开了专利侵权诉讼。SGL生产用于无基座MOCVD系统的晶圆承载器。除了临时禁令之外，Veeco正在寻求永久性禁令以及经济赔偿等。

11月2日，有机金属化学汽相沉积系统(MOCVD)设备大厂美国维易科(Veeco)宣布，美国纽约东区地方法院同意了Veeco公司针对SGL Carbon，LLC(SGL)的一项初步禁令请求，该公司是中微半导体设备有限公司(AMEC)的晶圆承载器供应商。据统计，目前国内前三大LED芯片厂商今年采购的机台里，Veeco和中微半导体各占一半。业内人士评论称，此次禁令可能会让中微损失不少。

该禁令禁止SGL出售供采用了Veeco专利技术的无基座金属有机化学气相沉积系统(MOCVD)使用的晶圆承载器，包括专为AMEC MOCVD系统设计的晶圆承载器。

Veeco公司董事长兼首席执行官John R. Peeler说：“这项裁决肯定了Veeco知识产权及其全球专利组合的实力。Veeco狠抓知识产权工作，并坚决维护其在研发方面的重大投资，包括其在美国，欧洲和亚洲的专利，特别是在中国。”

上述裁决立即生效，禁止SGL在未得到Veeco明确授权的情况下出货采用了Veeco专利技术的晶圆承载器。这也意味着禁止SGL提供用于所有AMEC MOCVD系统的晶圆承载器。

法院还裁定，尽管SGL有相反的论点，Veeco公司有关“无基座MOCVD反应堆使用的Veeco晶圆载体专利受到SGL的侵犯且该专利有效”的声称得到认同的可能性很大。SGL曾经辩称，其晶圆承载器是基于AMEC的规格。这项裁决显示，AMEC不尊重Veeco的知识产权。

对于在美国Veeco禁令，中微则回应表示，首先，纽约东区地方法院法官在未能有机会全面了解专利无效证据、未对Veeco美国的专利有效性和基片托盘是否真正侵权作出明确判断的情况下，罕见发出了禁止基片托盘供应商给中微提供托盘的临时禁运令。

其次，中微表示，涉案的Veeco美国专利技术早在60年代开始就被大量前置专利公开，距今已有五十年历史，因而，中微认为Veeco美国涉案专利不符合专利法要求，应属无效专利。中微更进一步对该涉案专利的中国同族专利、韩国同族专利提交了专利宣告无效请求。

此外，中微也会采取多项有效措施，减少SGL遭禁令的影响。中微半导体表示将在三个方面推动解决上述问题：一是积极发展第二和第三渠道的供应商，预计一个月即可完成产品验证，两三个月即可解决批量问题，春节前即可恢复对客户的石墨盘供应；二是SGL已在美国提起反诉，预计很快将取得进展；三是针对专利方面，公司已在中国对Veeco提起专利侵权诉讼。

中微半导体披露，其于今年7月向福建高院正式起诉 Veeco上海，指控其TurboDisk EPIK 700型号的MOCVD设备侵犯了中微的基片托盘同步锁定的中国专利，要求其停止侵权并主张上亿元侵权损害赔偿。在中微半导体起诉后，Veeco上海对该中微半导体专利向专利复审委提起无效宣告请求。

11月24日，国家知识产权局专利复审委（简称“专利复审委”）作出审查决定，否决了维易科精密仪器国际贸易（上海）有限公司（简称“Veeco上海”）关于中微半导体专利无效的申请，确认中微半导体起诉Veeco上海专利侵权的涉案专利为有效专利。这次诉讼的胜利，被认为是中微和Veeco这次对决中阶段性的关键胜利，未来中微还需要继续跟进石墨托盘供应商德国SGL的问题。

对于专利复审委作出的审查决定，中微半导体董事长兼首席执行官尹志尧表示，作为一家向国际一流芯片和LED及功率器件生产厂商提供高端制造设备的供应商，中微半导体自2004年成立以来，一直高度重视知识产权，一向独立自主开发技术和确立知识产权地位，同时也极其尊重客户和竞争对手的知识产权；十多年来，中微半导体在几次国内外知识产权诉讼纠纷中，经受住了考验，一直处于不败之地。

纠纷是常态，和解是必然

有专家分析，VEECO在石墨盘上的专利中微半导体无法绕过，在没有解决专利问题前中微的客户要求暂停发货。中微对石墨盘需求量较大，目前市场上难以有新供应商在短期内满足中微需求。和解是必然结果，半年内和解对三安、华灿影响较小。和解是VEECO和中国LED市场双赢的结果。市场淡季的到来和二三线厂商扩产意愿的降低确保在未来6个月三安、华灿基本不受扩产受阻影响。

而澳洋顺昌证券事务所代表则指出，即使在最坏的情况下，即中微与Veeco短期内无法达成和解，美国法院禁止SGL出售晶圆承载器给中微半导体及其客户，中国法院又裁定Veeco不能在中国销售相关的设备与部件，这种情况下对国内LED行业会产生巨大的影响。但因为公司目前装备德国AIXTRON公司外延设备最多，所以对澳洋顺昌光电的生产也不会产生不利影响，相比之下， 反而对澳洋顺昌最为有利。

（来源：广东LED）